電子部品・基板外観検査装置「SV-ES1000」

• 各種電子基板や特殊シートの自動外観検査装置ライン導入で高い実績
• 64ビットPC対応、最大128GBの実メモリ搭載可能
• 10億画素/枚を超える大容量画像を一度に処理
• マルチCPU並列処理により3億画素/秒以上の超高速処理
• 高精細ラインセンサ(8K、12K、16K)、2.5-10μm分解能で微細欠陥を検出
• 伸縮補正位置合わせと輪郭ファジー比較処理でパターン欠陥を安定検出
• パターン幅連続スライス計測によりマスターレスで突起・欠け・断線検査
• 黒・白・金属異物、パターン突起・欠け・ショート・断線・ピンホール、
  傷、クラック、打痕、汚れ、はがれ、銅残り、飛散り等検出
• オプションのカラーラインセンサ採用で変色や色むらなどの検出

SV-ES1000は、フィルム基板やタッチパネル基板、リジッド基板など各種電子基板や特殊シート、大判印刷シート、高機能電子部品などの高精度検査に適した、画像検査装置です。

高解像度ラインセンサを採用し、数十ミクロン幅のファインピッチパターンの外観・品質検査を、低価格で実現します。

フレックスビジョン独自技術である伸縮補正位置合わせ技術と輪郭ファジー処理により、パターンの位置ズレや伸び縮み、輪郭部のばらつきがあっても、的確に輪郭部の微細欠陥を検出します。

またパターン幅の連続自動スライス計測機能により、ファインピッチパターンの断線・ショート・欠け・突起などをマスターとの比較を行うことなく(マスターレスで)検出します。

この場合、パターン幅に対し1/2や1/3ルールに従った突起・欠けやピンホールを検出することも可能です。